Создана отечественная система напыления тонких пленок в микроэлектронике
Уникальность новой технологии - в возможности нанесения материалов на криволинейные поверхности, например, внутреннюю поверхность шара, приводит пресс-служба ТУСУР слова завкафедрой радиоэлектронных технологий и экологического мониторинга Василия Туева tass.ru »
